发布时间:2011-04-13 10:13:09 浏览量:1095 【字体:
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物理气相沉积是在真空条件下,利用物理方法,将沉积物材料汽化为原子、分子或离子化为离子,直接沉积到基体表面的方法。物理气相沉积有蒸镀、溅射和离子镀。由于加热方法不同和控制粒子运动的方法不同,PVC的种类也就很多,而且还在不断地发展,且每种PVD法都有专用的设备,工艺方法也在不断地研究发展之中。目前的PVD法与CVD法相比形成涂层的成分相差不大,PVD法工件的温度较CVD法低但涂层要薄,可减少工件的变形但涂层的牢固度低。
PVD方法突出的优点是镀膜温度低,只有500℃左右,而且温度还可以降低。虽然镀膜厚度较薄,但是能有效地提高模具寿命。镀膜设备复杂,价格高,是其在模具制造上普遍应用的主要原因。PVD镀膜技术在工模具行业中应用较多,国内一些厂家用PVD法强化模具工作零件表面,使模具寿命提高,获得了成功的经验。如:对YG20硬质合金录音机磁头外壳拉深模模具工作零件进行PVD涂覆TiN处理,模具寿命提高3倍以上;经低温沉积TiN涂层的电能表拉深模,其使用寿命由原来的2000件提高到2万件以上。此外,用65Mn钢制造的精密平面磨床的主轴,经低温沉积TiN涂层处理后,径向圆跳动达0.002mm较高精度,耐磨性可提高6~8倍。
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